RUS
ENG
Полная версия
ЖУРНАЛЫ
// Теплофизика высоких температур
// Архив
ТВТ,
1995
, том 33,
выпуск 1,
страницы
163–166
(Mi tvt2896)
Эта публикация цитируется в
1
статье
Краткие сообщения
Осаждение тонких пленок при вакуум-термическом испарении нитрида алюминия
А. В. Костановский
,
М. К. Гусев
Институт высоких температур РАН, г. Москва
УДК:
546.621.171.539.216
Поступила в редакцию:
04.03.1994
Полный текст:
PDF файл (1366 kB)
Список цитирования
Англоязычная версия:
High Temperature, 1995,
33
:1,
162–164
Реферативные базы данных:
©
МИАН
, 2024