Кинетика формирования пленки пироуглерода при одновременном росте слоев

В рамках ранее предложенных моделей описания кинетики образования пироуглерода [3–6] рассмотрен процесс формирования пленки при одновременном росте слоев для трех различных механизмов образования зародышей кристаллитов: на границах между кристаллитами, на активных центрах – точках пересечения указанных границ, а также для случая равной вероятности образования зародышей на любом участке подложки. Установлено, что в зависимости от изменения основных параметров модели происходит послойный, многослойный или столбчатый рост пленки. Результаты по шероховатости и средней высоте растущей пленки качественно совпадают с имеющимися литературными данными, полученными численным моделированием роста пленки.