Краткие сообщения

Возможность диагностики приэлектродных слоев по эмиссионным характеристикам плазмы

В. Л. Галанский, Ю. Е. Крейндель, Е. М. Окс

Институт сильноточной электроники СО АН СССР, г. Томск

УДК: 537.525

Поступила в редакцию: 13.09.1988