Краткие сообщения

Измерение температуры монокристалла кремния в диапазоне $300$–$700$ К по поглощению ИК-излучения

А. Н. Магунов, Е. В. Мудров

Институт микроэлектроники АН СССР, г. Ярославль

УДК: 535.341+536.55+621.315.592

Поступила в редакцию: 28.09.1989

Реферативные базы данных:

•