Об аккомодации энергии ионов потока разреженной плазмы на поверхности металла, частично покрытого слоем диэлектрика

Предложена методика определения коэффициента аккомодации энергии газовых ионов на поверхности электропроводящих материалов, частично покрытых слоем диэлектрика. Приведены результаты измерения коэффициентов аккомодации ионов потока разреженной плазмы на поверхности металла, покрытого диэлектрической сеткой. Определены зависимости коэффициента аккомодации энергии ионов от угла атаки элемента обтекаемой поверхности, молекулярной массы ионов и парциального состава газовой смеси.