Аннотация:
Проведен анализ частотных зависимостей основных параметров высокочастотного индуцированного разряда высокого давления, на основании которого устанавливаются границы частотного диапазона, оптимального с точки зрения получения данной температуры в разряде. Сделан вывод о независимости оптимального частотного диапазона от рода газа и скорости протока газа через зону индуктора.