Пороговый режим емкостного высокочастотного газового разряда

В результате расчетов, основанных на использовании упрощенной теории емкостного ВЧ-разряда, получены формулы, определяющие температуру плазмы, радиус проводящего канала и мощность разряда в пороговом режиме, требующем для своего осуществления минимального значения напряженности электрического ВЧ-поля, возбуждающего разряд. Показано, что основные характеристики пороговых режимов емкостного и индукционного ВЧ-разрядов совпадают.