Эмиссионная спектроскопия диполярного источника плазмы в водороде при низких давлениях

Методом эмиссионной спектроскопии исследована водородная низкотемпературная плазма в условиях электронно-циклотронного резонанса. Измерены функции распределения молекул по низким вращательным и колебательным уровням молекулы водорода в триплетном состоянии $d^3\Pi ^{-}_u$; определены поступательная, вращательная и колебательная температуры основного и возбужденного триплетного состояний молекулы водорода. Полученные значения поступательной и колебательной температур свидетельствуют о том, что водородная низкотемпературная плазма в условиях электронно-циклотронного резонанса является более эффективным источником колебательно-возбужденных молекул водорода по сравнению с другими газовыми разрядами.