Исследование функции распределения электронов в импульсном высокочастотном разряде

Изучение функции распределения электронов по энергиям в стационарном вихревом высокочастотном разряде при пониженном давлении выявило заметные отклонения от максвелловского распределения для аргона при $p>0,05$ тор, что удовлетворительно объясняется простейшими теоретическими расчетами. При помощи разработанной методики измерения функции распределения электронов по энергиям в импульсном режиме исследована кинетика релаксации $f(\varepsilon)$ в аргоне при давлении $0,1$ тор в процессе развития ВЧ-разряда и определены времена релаксации $\bar\varepsilon$ и $n_e$.