Функция распределения и средняя энергия электронов в высокочастотном разряде молекулярного газа

На основании решения кинетического уравнения Больцмана для электронов в высокочастотном разряде с учетом упругих и неупругих электронно-молекулярных соударений, а также диффузионного ухода электронов на стенки разрядной трубки установлено, что с точки зрения баланса энергии электронов в разряде рассматриваемого типа могут реализоваться два различных режима. В одном из этих режимов значительная доля вводимой в разряд энергии расходуется на возбуждение колебательных степеней свободы молекул, в другом основной механизм потери энергии электронов связан с упругими электронно-молекулярными соударениями. Получены условия перехода разряда из одного режима в другой, рассчитана зависимость средней энергии электронов от параметров разряда.