Взаимное влияние параметров плазмы кислорода и процесса окислительной деструкции пленки полиэтилена

Приводятся результаты исследований эффекта загрузки при воздействии низкотемпературной плазмы кислорода на поверхность пленки полиэтилена. С ростом количества обрабатываемого полимера в плазме уменьшаются удельные скорости расходования $\mathrm{O}_2$ и образования $\mathrm{CO}_2$, $\mathrm{CO}$, $\mathrm{H}_2\mathrm{O}$, $\mathrm{H}_2$, температура газа практически не меняется, увеличивается напряженность электрического поля. Рассматривается влияние газообразных продуктов на физические характеристики плазмы и скорости процессов с участием электронов, а также механизм реализации эффекта загрузки.