Концентрация, частота столкновений и энергетическое распределение электронов в положительном столбе тлеющего разряда в азоте

Проведен анализ систематических погрешностей измерения концент­рации электронов методами СВЧ-резонатора и зонда Лэнгмюра, а также функции распределения электронов по энергиям – методом зонда Лэнгмюра. В диапазоне давлений от $0,65$ до $3,9$ мм рт. ст. и токов от $30$ до $75$ ма зондовым методом получены концентрация и энергетическое распределение электронов. В диапазоне давлений от $0,65$ до $5$ мм рт. ст. и то­ков от $5$ до $100$ ма СВЧ-методом получены концентрация и частота столкновений электронов. С использованием измеренных функций распределения получены коэффициенты переноса электронов и частота ионизации молекул азота в положительном столбе. Данные СВЧ- и зондового методов хорошо согласуются друг с другом.