Аннотация:
Технологии кремниевой интегральной фотоники являются основой для создания целого класса устройств, таких как оптические модуляторы, фотодетекторы, оптические фильтры и переключатели, мультиплексоры и демультиплексоры, оптические трансиверы и др. По многим параметрам кремниевая интегральная фотоника конкурирует с альтернативными платформами на основе фосфида индия, нитрида и оксида кремния и других материалов. Рассмотрены современные подходы, используемые в технологиях кремниевой интегральной фотоники, и описаны разработанные на их основе компоненты фотонных интегральных схем и устройств, а также проведено сравнение с альтернативными технологическими платформами.
PACS:42.82.-m, 42.82.Et, 84.40.Lj
Поступила:15 апреля 2024 г. Доработана: 12 сентября 2024 г. Одобрена в печать: 13 сентября 2024 г.
Первая страница:
PDF файл