RUS  ENG
Полная версия
ЖУРНАЛЫ // Успехи физических наук // Архив

УФН, 2012, том 182, номер 3, страницы 287–321 (Mi ufn2563)

Эта публикация цитируется в 92 статьях

ПРИБОРЫ И МЕТОДЫ ИССЛЕДОВАНИЙ

Применение микро- и нанозондов для анализа малоразмерных 3D материалов, наносистем и нанообъектов

А. Д. Погребнякab, А. Г. Пономаревa, А. П. Шпакc, Ю. А. Куницкийc

a Сумский государственный университет
b Сумской институт модификации поверхности
c Институт металлофизики им. Г. В. Курдюмова НАН Украины

Аннотация: Рассмотрены физические основы взаимодействия ионов с веществом в твёрдой фазе, особое внимание уделено образованию продуктов взаимодействия ионов с атомами исследуемых веществ. Описаны процессы модификации высокоомных (резистивных) материалов и их использование в технологии малоразмерных 3D структур. Изложены современные тенденции развития и проблемы усовершенствования ядерного сканирующего микрозонда. Описано применение медленных позитронов для диагностики материалов и рассмотрена позитронная микроскопия и микрозондирование. Раскрыты возможности ближнеполевой сверхвысокочастотной (СВЧ) микроскопии для диагностики сверхпроводящей керамики и микроволновой микроскопии в применении к нанотехнологиям. В качестве примеров рассмотрено использование микро- и нанозондов для анализа нанообьектов, например клеток зелёных водорослей с пространственным расположением микроэлементов, а также при разработке топологии интегральных микросхем в наноэлектронике и другие применения. Показана роль железа в патогенезе болезни Паркинсона, которая является предметом исследований в нейрохимии.

PACS: 07.78.+s, 78.70.Bj, 81.16.Ta, 84.40.-x

Поступила: 8 февраля 2011 г.
Доработана: 14 апреля 2011 г.
Одобрена в печать: 28 апреля 2011 г.

DOI: 10.3367/UFNr.0182.201203d.0287


 Англоязычная версия: Physics–Uspekhi, 2012, 55:3, 270–300

Реферативные базы данных:


© МИАН, 2024