Аннотация:
Широкополосные интегрально-оптические модуляторы являются ключевыми элементами современных оптических информационных систем. Рассмотрены три основные материальные технологические платформы для их изготовления: ниобат лития, полупроводники $A_{3}B_{5}$ и кремний. Анализируется достигнутый прогресс в создании интегрально-оптических модуляторов и даётся сопоставление полученных для разных материалов основных параметров модуляторов с требованиями практических применений. Обсуждаются направления дальнейшего развития технологии рассматриваемых модуляторов применительно к новым задачам в оптических информационных системах.
PACS:42.79.-e, 42.79.Hp, 78.20.Ls
Поступила:20 мая 2020 г. Доработана: 16 ноября 2020 г. Одобрена в печать: 18 ноября 2020 г.