А. Е. Иешкин, А. Б. Толстогузов, Н. Г. Коробейщиков, В. О. Пеленович, В. С. Черныш, “Газодинамические источники кластерных ионов для решения фундаментальных и прикладных задач”, УФН, 2022, том 192, номер 7,страницы 722

Эта публикация цитируется в 24 статьях

ПРИБОРЫ И МЕТОДЫ ИССЛЕДОВАНИЙ

Газодинамические источники кластерных ионов для решения фундаментальных и прикладных задач

А. Е. Иешкин^a, А. Б. Толстогузов^bcd, Н. Г. Коробейщиков^e, В. О. Пеленович^c, В. С. Черныш^a

^a Физический факультет, Московский государственный университет имени М.В. Ломоносова
^b Рязанский государственный радиотехнический университет им. В.Ф. Уткина
^c Department of Physics and Key Laboratory of Artificial Micro- and Nano-structures of Ministry of Education, Hubei Nuclear Solid Physics Key Laboratory and Center for Ion Beam Application, School of Physics and Technology, Wuhan University
^d Centre for Physics and Technological Research (CeFITec), Dept. de Fisica da Faculdade de Ciencias e Tecnologia (FCT), Universidade Nova de Lisboa
^e Новосибирский государственный университет

Аннотация: Представлен обзор современного состояния исследований в области разработки и использования источников газовых кластерных ионов. Обсуждаются закономерности формирования нейтральных кластеров, методы исследования их потоков и закономерности их ионизации, а также принципы масс-сепарации пучков полученных ионов. Рассмотрены конструкционные особенности некоторых источников газовых кластерных ионов, используемых для решения различных фундаментальных и прикладных задач. Проведён анализ возможностей применения таких источников для направленной модификации поверхностного рельефа, имплантации вещества на сверхмалые глубины, развития аналитических методик исследования материалов и стимулирования химических реакций на поверхности.

PACS: 29.25.Ni, 36.40.-c, 41.75.-i, 68.49.Sf

Поступила: 23 марта 2021 г.
Доработана: 20 мая 2021 г.
Одобрена в печать: 7 июня 2021 г.

DOI: 10.3367/UFNr.2021.06.038994