БИБЛИОГРАФИЯ

Современное состояние технологии и материаловедения полупроводникового кремния

В. Б. Тимофеев


УДК: 621.315.592(049.3)

PACS: 01.30.Vv, 85.40.-e, 81.10.-h, 81.15.-z

DOI: 10.3367/UFNr.0160.199006g.0168

 Англоязычная версия: Physics–Uspekhi, 1990, 33:6, 492–493