Исследование влияния лазерного воздействия на структуру кремния с помощью маятниковых полос рентгеновских лучей

Двухкристальный рентгеновский интерферометр (клин-плоскопараллельная пластина) был применен для исследования локальных искаженных областей клиновидного кристалла, подвергнутого лазерному воздействию. На полученных рентгеновских топограммах наблюдаются характерные искривления ветвей маятниковых полос, свидетельствующие об образовании дислокаций в облучаемой части кристалла. После измерения смещения вершин маятниковых полос на топограммах и использования результатов ранее выполненных работ оценены величины напряжений вокруг образовавшихся дислокаций, определены размеры областей с искаженной структурой.