Аннотация:
Предложен и экспериментально обоснован метод измерения толщины пленок и лент с нанометрическим разрешением. Он основан на автогенераторе с плоской однослойной приемной катушкой. Осуществлены разработка, создание, калибровка и предварительное испытание лабораторного макета созданного по этому методу устройства, а также организовано компьютерное управление им в программной среде «NI LabVIEW». Метод может найти широкое применение как при решении научных задач, так и в микро- и нанотехнологии.
Ключевые слова:single-layer Flat-Coil-Oscillator method, a nanometer resolution thickness measuring and controlling technique, high-$T_c$ superconductive films and tapes.
Поступила в редакцию: 16.09.2010 Принята в печать: 11.10.2010