И. Ш. Абдуллин, В. С. Желтухин, В. Ю. Чебакова, М. Н. Шнейдер, “Моделирование высокочастотного емкостного разряда при больших межэлектродных расстояниях. I. Постановка задачи”, Учен. зап. Казан. ун-та. Сер. Физ.-матем. науки, 2013, том 155, книга 2,страницы 123

Эта публикация цитируется в 1 статье

Моделирование высокочастотного емкостного разряда при больших межэлектродных расстояниях. I. Постановка задачи

И. Ш. Абдуллин^a, В. С. Желтухин^b, В. Ю. Чебакова^b, М. Н. Шнейдер^c

^a Казанский национальный исследовательский технологический университет, г. Казань, Россия
^b Казанский (Приволжский) федеральный университет, г. Казань, Россия
^c Принстонский университет, г. Принстон, США

Аннотация: В работе построена одномерная математическая модель нестационарной высокочастотной плазмы пониженного давления, позволяющая рассчитать основные характеристики плазмы в высокочастотном емкостном разряде с большим межэлектродном расстоянием и описать поведение плазмы в приэлектродных областях с учетом нагрева газа.

Ключевые слова: математическое моделирование, высокочастотный емкостный разряд пониженного давления, напряженность электрического поля, электронная и газовая температура, концентрация электронов, ионов.

УДК: 537.525.7+621.762

Поступила в редакцию: 03.04.2013