Аннотация:
Описываются особенности структуры полимеров, синтезированных в тлеющем разряде пониженного давления в парах адамантана на электродах и подложках под «плавающим» потенциалом. Структура формируемых продуктов обуславливается соотношением вкладов механизмов поверхностной и объёмной полимеризации в формирование полимера на поверхности. Определяющими факторами являются вид разряда и его параметры — разряд постоянного или переменного тока, давление и плотность тока разряда; наличие протока газа или его отсутствие в связи с подачей в зону формирования покрытия и выносом из неё частиц дисперсной фазы; место расположения подложки в области разряда и вне неё. Изучена кинетика роста плёнок из адамантана при различных условиях разряда на электродах из алюминия и меди. Скорости роста полимеров менялись в пределах 0,5–1,4 нм/с на аноде, 4,2–7,5 нм/с на катоде для различных режимов разряда и двух материалов электродов.
Ключевые слова:газоразрядная полимеризация в парах адамантана, структура полимерных плёнок, кинетика роста плёнок из адамантана.