А. М. Штеренберг, А. Ю. Харитонов, В. А. Шурыгина, “Физические аспекты топологии и кинетики формирования дисперсной фазы в тлеющем разряде пониженного давления”, Вестн. Сам. гос. техн. ун-та. Сер. Физ.-мат. науки, 2007, выпуск 1(14),страницы 114

Химическая физика

Физические аспекты топологии и кинетики формирования дисперсной фазы в тлеющем разряде пониженного давления

А. М. Штеренберг, А. Ю. Харитонов, В. А. Шурыгина

Самарский государственный технический университет

Аннотация: Представлены экспериментальные результаты изучения процесса формирования дисперсной фазы нано- и микроразмерных частиц в объеме тлеющего разряда пониженного давления (10–100Па) в парах углеводородных, кремний- и фторорганических соединений.

УДК: 541.182

Поступила 05.10.2006

DOI: 10.14498/vsgtu496