Оценка влияния неконденсируемых газов на процесс десублимации фтористого водорода

Представлены результаты экспериментальных измерений относительной величины проскока HF через осадительные емкости. Экспериментальные работы проводились путём имитации технологического процесса при температуре 136 К с использованием охлажденного воздуха для термостатирования емкости. Установлено, что величина проскока HF через осадительную емкость составляет менее 1 %.