RUS  ENG
Полная версия
ЖУРНАЛЫ // Математическая физика и компьютерное моделирование // Архив

Математическая физика и компьютерное моделирование, 2017, том 20, выпуск 4, страницы 83–94 (Mi vvgum199)

Эта публикация цитируется в 1 статье

Физика

Оценка возможности применения метода лазерной триангуляции к измерениям толщин тонких пленок

А. А. Адамов, В. Н. Храмов

Волгоградский государственный университет

Аннотация: Рассмотрена задача определения толщины тонких пленок методом лазерной триангуляции. Получено выражение, связывающее значение толщины пленки и координаты лучей на фотоприемнике. Экспериментально показана возможность применения данного метода для измерения толщин в диапазоне [0,1;1] мм. Полученные результаты могут быть использованы в офтальмологии для экспресс-диагностики во время проведения операций на роговичном слое.

Ключевые слова: лазерная триангуляция, толщина, тонкая пленка, ПЗС-матрица, показатель преломления, погрешность.

УДК: 53.082.531, 53.082.532
ББК: 22.343

DOI: 10.15688/mpcm.jvolsu.2017.4.8



© МИАН, 2024