И. В. Кочиков, Ю. С. Лагутин, А. А. Лагутина, Д. В. Лукьяненко, А. В. Тихонравов, С. А. Шарапова, А. Г. Ягола, “Сравнительный анализ свойств алгоритмов решения обратных задач, связанных с монохроматическим контролем процессов напыления оптических покрытий”, Ж. вычисл. матем. и матем. физ., 2021, том 61, номер 9,страницы 1528

Эта публикация цитируется в 6 статьях

Математическая физика

Сравнительный анализ свойств алгоритмов решения обратных задач, связанных с монохроматическим контролем процессов напыления оптических покрытий

И. В. Кочиков^a, Ю. С. Лагутин^bc, А. А. Лагутина^bc, Д. В. Лукьяненко^bc, А. В. Тихонравов^ab, С. А. Шарапова^ab, А. Г. Ягола^c

^a 119234 Москва, Ленинские горы, 1, стр. 4, НИВЦ МГУ, Россия
^b 119234 Москва, Московский центр фундаментальной и прикладной математики, Россия
^c 119991 Москва, Ленинские горы, 1, стр. 2, МГУ им. М.В. Ломоносова, физический факультет, Россия

Аннотация: Проводится сравнительный анализ трех принципиально различных алгоритмов решения обратных задач контроля толщин слоев оптических покрытий на основе данных монохроматических измерений коэффициентов отражения/пропускания покрытий в процессе их напыления. Развитый ранее геометрический подход к исследованию корреляции ошибок в толщинах слоев напыляемых покрытий распространен на случай монохроматических измерений. Для оценки наличия эффекта самокомпенсации ошибок введен новый параметр, названный фактором самокомпенсации. Показана его роль при оценке перспектив использования различных алгоритмов для контроля напыления оптических покрытий.
Библ. 16. Фиг. 3. Табл. 2.

Ключевые слова: обратные задачи, алгоритмы, оптические покрытия, монохроматический контроль, корреляция ошибок, самокомпенсация ошибок.

УДК: 519.635

Поступила в редакцию: 05.11.2020
Исправленный вариант: 05.11.2020
Принята в печать: 11.02.2021

DOI: 10.31857/S004446692109012X