Аннотация:
В работе рассматриваются обратные задачи оптики слоистых сред, связанные с контролем технологических процессов напыления наиболее сложных типов оптических покрытий для оптики и оптоэлектроники. Показано, что в силу специфики этих задач важнейшую роль при их решении имеет исследование эффекта самокомпенсации ошибок, приводящего к тому, что спектральные характеристики покрытия оказываются близкими к требуемым даже при очень больших ошибках в параметрах покрытия. На практическом примере демонстрируется подход к выбору оптимального алгоритма решения обратных задач контроля с учетом наличия и силы эффекта самокомпенсации ошибок.
Библ. 25. Фиг. 1.
