|
ПЕРСОНАЛИИ |
Агеев Олег Алексеевич |
член-корреспондент РАН |
профессор |
доктор технических наук (2005) |
нанотехнологии, наноэлектроника, микросистемная техника, наносистемная техника, атомно-силовая микроскопия, сканирующая туннельная микроскопия, молекулярно-лучевая эпитаксия, фокусированные ионные пучки, лазерная абляция